螺杆真空泵选型金属密封法兰的常见形式螺杆真空泵选型金属密封法兰的常见形式

首先是平面法兰密封。
平面法兰密封是金属密封法兰形式中zui简单的一种，常用材料包括铝、铜、金等。这种法兰形式密封没有配合问题，而且表面粗糙度容易达到，缺点就是密封圈的定位问题不容易解决，另外接触面需要很大的密封力，一般只适用于小直径的法兰连接密封。
第二，直角形密封。
直角形密封也被称为L形密封。密封台阶间隙0.025mm，以保证密封圈受压后呈L形。下法兰台阶利用O形圈定位，表面粗糙度由于Ra1.6，O形圈压缩量为50%，常用O形圈金属丝直径有0.5、0.6、0.8、1以及1.5毫米5种。
第三，刀口密封。
刀口密封的密封圈为0.5mm的环形铜片或铝片，密封力为280MPa，耐450℃烘烤，可承受多次加热——冷却循环而不漏气，但配合要求精度高，只用于小尺寸法兰密封。
第四，斜楔密封。
斜楔密封的刀口角度为70°，高度为1～1.5mm，深度公差±0.075～0.1mm，刀尖圆角半径为0.1mm，刀口直径误差为0.05mm，垫圈材料为宽6mm、厚2～3mm的无氧高导铜。采用这种密封结构的真空系统，经250℃、5小时高温烘烤后，可使真空系统获得2.6×10^-9Pa的真空度。
第五，台阶密封。
台阶密封是利用两直角的剪切力剪切出新鲜金属面形成密封。两直角的剪切分相叠结构与相隔结构。垫圈材料为无氧高导铜，厚度1～3mm。制作时在950℃的烧氢炉中退火处理，可在450℃温度下反复烘烤使用。上下两直角公差较大，没有配合问题，加工容易。
除了这几类常见的金属密封法兰形式外，还有圆锥端面密封、铝箔密封、惠勒密封等形式。
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