真空镀膜系统

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真空系统存在的泵的名词解释：
主泵：在真空系统中，用于获得所需要真空度来满足特定工艺要求的真空泵，如真空镀膜机中的油扩散泵就是主泵。

前级泵：用于维持某一真空泵前级压强低于其临界前级压强的真空泵。如罗茨泵前配置的旋片泵或滑阀泵就是前级泵。

粗抽泵：从大气压下开始抽气，并将系统压力抽到另一真空泵开始工作的真空泵。如真空镀膜机中的滑阀泵，就是粗油泵。

维持泵：在真空系统中，气量很小时，不能有效地利用前级泵。为此配置一种容量较小的辅助泵来维持主泵工作，此泵叫维持泵。如扩散泵出口处配一台小型旋片泵，就是维持泵。

事实上简单的真空系统只是能获得一个粗真空，而想要获得高真空时，通常在真空系统中串联一个高真空泵，比如罗茨泵和螺杆泵等都是获得高真空的泵。当串联一个高真空泵之后，通常要在高真空泵的入口和出口分别加上阀门，以便高真空泵能单独保持真空。如果所串联的高真空泵是一个油扩散泵，为了防止大量的油蒸气返流进入被抽容器，通常在油扩散泵的入口加一个捕集器——水冷障板。根据要求，还可以在管路中加上除尘器、真空继电器规头、真空软连接管道、真空泵入口放气阀，散热器等等，这样就构成了一个较完善的高真空系统。

真空镀膜系统型号：PNK100（1 x RH0100）
抽速：100m3/h
极限压力：0.1（15）mbar
缓冲罐体：100L
电机功率：3.0Kw
尺寸：1100×425×900mm
真空抽气接口尺寸数量：12×6

典型应用：
1.粗真空应用：- 真空搬运- 真空装卸/吊装 - 脱气 - 自动化（真空吸持）
2.汽车工业 - 热成型 - 充填，脱气
3.复合材料制造 - 树脂传递模塑 (RTM)
4.真空压制，如橡胶，塑料，垫圈
5.食品包装/食品加工 - 真空灌装 - 热成型 - 真空运输、装卸、吊装 - 托盘密封/气调保鲜包装 - 脱气
6.医院/医疗工程 - 细菌过滤器

降低真空系统漏气率的措施：
1.真空系统的结构
真空系统的结构是影响真空系统密封性和系统漏气率的关键，真空系统的结构合理与否，将直接影响系统的密封性和系统的漏气率。
（1）尽可能地避免出现小曲率半径的死角，要光滑过渡查刹于打麈抛光、清洗清扫。
（2）抽空管道、送气管道等与真空室相连接的管道，采用圆弧过渡，使气路畅通无阻，但要考虑清洗清扫的方便性。
（3）认真设计真空室内各种连接件的结构，使气路畅通，避免气路堵塞。
（4）打磨抛光真空系统内表面，表面越光亮就越不易气体吸附，越容易获得真空。
（5）尽可能减小真空室的体积，缩短管路系统。
2.密封形式的选择
密封形式可根据所需真空度的高低及实际工作需要选择密封形式，对于人工晶体生长设备，一般需要的真空度在lO-3Pa以下，因此，无需采用金属密封。以TDR--70型单晶炉为例，我们选择磁性流体密封作为旋转动密封，选择高精度大伸缩量的焊接波纹管进行移动密封，小直径轴的旋转密封选用“O”型密封圈或威尔逊密封，各种静密封则采用“0”型密封圈密封形式，直径压缩比为25％。
密封件材质的选用：真空度在lO-3Pa以下的真空系统，密封材料一般选择橡胶密封圈即可满足要求。但是，考虑到实际工作条件的需要(真空室内温度zui高可达2300℃，密封部位进行水冷后，其温度在80℃左右，个别处温度可达100℃以上)。所以，要选择比较理想的密封圈材料。
用于真空密封橡胶材料，除要求具有光洁表面、无划伤、无裂纹外，还要求有低的渗透率和出气率，良好的耐热性耐油性，同时要有一定的强度、硬度和弹性等。
3.静密封结构的选择
各种真空系统中，80%以上的密封为静密封，静密封效果的好坏，对系统的真空度及漏气率有很大的影响。因此，要对静密封结构进行认真设计，以达到理想的效果。
对静密封结构的设计，主要考虑如何选择主要密封面、如何减小残留气体及如何充分发挥橡胶密封圈功能。
无论是矩形密封槽、燕尾型密封槽还是梯形密封槽，其槽底较小的粗糙度容易获得为主要密封面，而其侧面则较小的粗糙度往往不易获得。同时，为了消除残留气体，在存在残留气体处设计了贯通孔，使系统内部各处畅通无阻。

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