干式氦气检漏仪 UL1000 Fab

• 产品名称：干式氦气检漏仪 UL1000 Fab
• 订货号：tlyon000292
• 品牌名称：美国INFICON

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干式氦气检漏仪 UL1000 Fab

ULTRATEST™ 传感器技术

稳定性和灵敏度的新疆界，

检漏低达 10 -12 atm/css

The INFICON UL1000 Fab 移动式氦气检漏仪特别设计用于满足半导体应用要求。凭借环境系统优先级中的简单使用性、检漏效率性和移动性，UL1000 Fab 在所有测量范围中提供极快的泄漏率响应。

通过结合较高氦气抽气能力和高进气口压力的真空结构，UL1000 Fab 提供的的泄漏率低达 < 5x10-12 atm cc/s。软件 I-CAL（智能泄漏率计算法）让您忘记在低泄漏率范围检漏时较长反应时间的烦恼，因为 UL1000 Fab 能够对所有泄漏率范围做出快速响应。

使用额外的 TC1000 测试盒配件，UL1000 Fab 氦气检漏仪为密封部件提供简单、快速、精确的测试，如 IC 封装、石英晶体和激光器二极管（根据 MIL-STD 883，方法 1014）。

功能

• 15 级的宽测量范围
• 较短的抽气和响应时间
• 移动式全金属外壳，增加了便利性，具有可操作性
• I-CAL 确保了在所有测量范围中提供的泄漏响应时间
• 抑零功能和自动积分时间校正，可提供快速、可靠的测试结果
• 含坚固耐用涡旋泵和多入口涡轮分子泵的智能型真空设计，提供较高氦气抽气能力和高压缩比
• 旋转式显示器和用户界面允许简单、轻松控制装置以及与其进行交互
• 自保护功能可防止 UL1000 Fab 氦气检漏仪受到氦气和微粒的污染
• 自动吹扫循环可确保清理并随时可进行测试
• 通过电子邮件进行软件更新
• 含两个灯丝离子源（3 年质保）的耐用质谱系统确保了较长的运行时间和较低的维护成本
• 内部校准用的内置测试漏孔确保了精确的测试结果

典型应用

• 对半导体加工工具执行维护作业，无论是否具有自有泵支持
• 需要较高抽气能力、高灵敏度和清洁测试条件的应用
• 在现有工具中安装前对部件执行检漏
• 工艺气体系统的检查和安装
• 内置软件菜单“自动测漏”功能可使用 TC1000 测试盒执行密封组件的自动测试

规格

类型		Dry Helium Leak Detetector UL1000 Fab
氦气（真空模式）可检漏率	mbar•L/s	<5E-12
氦气（真空模式）可检漏率	mbar•L/s	<5E-12
氦气（吸枪模式）可检漏率	mbar•L/s	5E-8
MASSIVE 模式进气口压力	mbar	1000
GROSS 模式进气口压力	mbar	15
FINE 模式进气口压力	mbar	2
ULTRA 模式进气口压力	mbar	0.4
抽真空期间的抽气能力	m³/h	> 30 at 50 Hz
抽真空期间的抽气能力	m³/h	> 30 at 50 Hz
GROSS 模式氦气抽气能力	L/s	max. 8
FINE 模式氦气抽气能力	L/s	7
ULTRA 模式氦气抽气能力	L/s	2.5
ULTRA 模式氦气抽气能力	L/s	2.5
可检测质量数		2,3,4 amu
质谱仪扇形场		180°
灯丝离子源铱/氧化钇涂层		2
内置校准漏孔	mbar•L/s	e-7
测试端口	DN 25 KF	1
可调触发器		2
接口		2 x USB, Ethernet / LAN
接口		2 x USB, Ethernet / LAN
图形记录器输出	V	2 x10
输入/输出		PLC compatible
输入/输出		Via I/O 1000 module
允许的环境温度（操作过程中）	°C	+10.....+40
保护类型		IP 20
重量
120
重量
120
重量
120
尺寸（长x宽x高）	mm	1050x472x987
尺寸（长x宽x高）
1050x472x987
电源电压	V (ac)	230 (+-10% )50Hz
电源电压	V (ac)	230 (+-10% )50Hz
电源电压	V (ac)	230 (+-10% )50Hz
电源电压	V (ac)	230 (+-10% )50Hz
功耗	VA	1100
功耗	VA	1100

零件号

Dry Helium Leak Detetector UL1000 Fab
零件号	明细
550-100A	ULTRATEST UL1000 Fab, 230 V, EU plug
550-101A	ULTRATEST UL1000 Fab, 100/115 V, US plug

附件

Dry Helium Leak Detetector UL1000 Fab
零件号	明细
14005	SL200，UL1000/5000/Modul1000 用吸枪探头，4 米长
14022	RC1000 extension cable, 8 m
14090	LeakWare, PC SW for UL1000/UL5000
551-000	Toolbox, detachable,for UL1000
551-001	Helium Bottle Holder for UL1000/5000
551-002	ESD Mat for UL1000/5000
551-005	TC1000Test Chamber,DN25KF,ESD wrist band
551-010	遥控器 RC1000C，有线，带 4 米卷线
551-015	遥控器 RC1000WL，无线，包括无线发射机
551-020	RC1000WL 用无线发射机