上海允申自动化科技有限公司
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在线流量测量AWM5000系列微桥气体质量流量传感器采用文丘里管式外壳，可测量流速高达20SLPM，且引发的压降不超过2.25英寸水柱。微桥芯片直接接触气流，极大的降低了由于通孔或旁路堵塞而引起误差的可能性。坚固的塑料封装设计可承受高达50psi的共模压力。内部的小型传感元件可经受100gs的冲击且对性能无影响。自带AMP兼容连接器，在高要求应用场合可实现可靠的连接。
在线流量测量AWM5000系列微桥气体质量流量传感器采用文丘里管式外壳，可测量流速高达20SLPM，且引发的压降不超过2.25英寸水柱。微桥芯片直接接触气流，极大的降低了由于通孔或旁路堵塞而引起误差的可能性。坚固的塑料封装设计可承受高达50psi的共模压力。内部的小型传感元件可经受100gs的冲击且对性能无影响。自带AMP兼容连接器，在高要求应用场合可实现可靠的连接。
| 主要特性 | AWM5101 | AWM5102 | AWM5103 | AWM5104 |
| 流量范围（满量程） | 0-5 SLPM | 0-10 SLPM | 0-15 SLPM | 0-20 SLPM |
| 后缀-标定气体 | VA-氩气（Ar） VC-二氧化碳（CO2） VN-氮气（N2） | |||
| | 最小值 | 典型值 | 值 | 单位 |
| 推荐供电电源 | 8.0 | 10.0±0.01 | 15 | VDC |
| 功耗 | -- | -- | 100 | mW |
| 零点输出 | 0.95 | 1.0 | 1.05 | VDC |
| 零点漂移 | -- | ±0.050 | ±0.2 | VDC |
| 共模压力 | | | 50 | psi |
| 温度范围 | -20 | | +70 | ℃ |
| 冲击指标 | | 100g峰值 | | |
| 线性误差 | | ±3.0%读数 | | |
| 迟滞&重复性 | | ±0.5%读数 | | |
| 连接器 | AMP（103956-3）或MICROSWITCH（SS12143） | |||
| 泄露 | 0.1psi/min ，在静态中 | |||
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