摘要:光学3D表面轮廓仪,又称白光干涉仪,它是以白光干涉扫描技术为基础研制而成的用于样品表面微观形貌检测的仪器。光学3D表面轮廓仪是以非接触的扫描方式,实现针对样品表面的重复精度的3D测量,获取表征样品表面质量的2D、3D数据。光学3D表面轮廓仪可对各种产品、部件和材料表面的平面度、粗糙度、波纹度、面形轮廓、表面缺陷、磨损情况、腐蚀情况、孔隙间隙、台阶高度、弯曲变形情况、加工情况等表面形貌特征进行测量和分析。光学3D表面轮廓仪可广泛应用于对器件表面质量要求高的半导体、3C电子屏幕等器件、太阳能印刷薄膜