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3D表面轮廓仪/白光干涉仪

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更新时间：2024-04-22 08:01:02浏览次数：15次

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苏州拜特微光电科技有限公司

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产品简介

光学3D表面轮廓仪，又称白光干涉仪，它是以白光干涉扫描技术为基础研制而成的用于样品表面微观形貌检测的仪器。光学3D表面轮廓仪是以非接触的扫描方式，实现针对样品表面的重复精度的3D测量，获取表征样品表面质量的2D、3D数据。光学3D表面轮廓仪可对各种产品、部件和材料表面的平面度、粗糙度、波纹度、面形轮廓、表面缺陷、磨损情况、腐蚀情况、孔隙间隙、台阶高度、弯曲变形情况、加工情况等表面形貌特征进行测量和分析。光学3D表面轮廓仪可广泛应用于对器件表面质量要求高的半导体、3C电子屏幕等器件、太阳能印刷薄膜、光学加工、纳米材料等工业企业领域，以及高校、所、科研院所等计量、研究性质单位

详细介绍

技术规格 Technical specifications

型号		W1		W2
光源		白光LED		白光LED
标配影像系统		1024×1024（2048×2048可选）		1024×1024（2048×2048可选）
标配干涉物镜		10×（2.5×，5×，20×，50×，100×可选）		10×（2.5×，5×，20×，50×，100×可选）
标配光学ZOOM		1×，（0.5×、0.75×可选）		1×，（0.5×、0.75×可选）
标配视场		0.49*0.49mm		0.49*0.49mm
******视场		6*6mm		6*6mm
物镜塔台		3孔手动		3孔手动
XY位移平台	尺寸	320×200mm		320×320mm
	移动范围	140×110mm		200×200mm
	负载	10kg		10kg
	控制方式	电动		电动
水平调整		±4°手动		±电°手动
Z轴聚焦	行程	100mm		100mm
	控制方式	电动		电动
Z向扫描范围		10 mm		10 mm
Z向分辨率		0.1nm		0.1nm
可测样品反射率		0.5%~99%		0.5%~99%
粗糙度RMS重复性		0.005nm		0.005nm
台阶测量		准确度	重复性	准确度	重复性
		0.75% 1σ	0.1% 1σ	0.75% 1σ	0.1% 1σ